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特點
1.MGH系列測(ce)(ce)量機采用(yong)封閉框架結構設計，是高精(jing)度精(jing)密(mi)型測(ce)(ce)量機的(de)專用(yong)結構。由(you)固(gu)定橋(qiao)和工作臺移動組(zu)成，其牢(lao)固(gu)的(de)機械結構確(que)保了(le)系統具(ju)備較大的(de)剛性(xing)、的(de)穩定性(xing)和較小的(de)振動，保證了(le)整(zheng)個測(ce)(ce)量空間較高的(de)測(ce)(ce)量精(jing)度。
2.軸運動采(cai)用中央驅動，避免了Y向運動中(zhong)的偏擺(bai)，提高了Y軸的運動精度 Y軸導軌采用燕(yan)尾槽(cao)定位(wei)方式，以保(bao)證運動時的較大剛性及精度。 三軸導軌(gui)均采用(yong)優(you)質花崗(gang)巖，使三軸具(ju)有(you)相同的溫度(du)特性(xing)(xing)，因而具(ju)有(you)良好(hao)的溫度(du)穩定性(xing)(xing)、抗(kang)實效變(bian)形(xing)能(neng)力(li)，鋼性(xing)(xing)好(hao)、動態幾(ji)何誤差(cha)變(bian)形(xing)較小。
3.三(san)軸導軌均采用自潔式預載(zai)荷高(gao)(gao)精度空氣軸承，運(yun)動(dong)(dong)更(geng)平(ping)穩。光柵(zha)的布(bu)置接近被測工件，遵循(xun)了(le)(le)阿貝誤(wu)差(cha)原理，減小了(le)(le)系(xi)統誤(wu)差(cha)。驅動(dong)(dong)系(xi)統采用進口高(gao)(gao)性能直(zhi)流伺(si)服(fu)電機、進口摩擦(ca)桿傳(chuan)動(dong)(dong)裝置，確保傳(chuan)動(dong)(dong)更(geng)快(kuai)捷(jie)、更(geng)精準、運(yun)動(dong)(dong)性能更(geng)佳(jia)。 Z軸(zhou)采(cai)用氣缸(gang)平衡裝置，極大(da)的提高了(le)Z軸的定(ding)位精度及穩定(ding)性。
性(xing)能參數
測量范圍(mm)X:500
測量(liang)范(fan)圍(mm)Y:600
測量范圍(mm)Z:400
探(tan)測系統:PH10T+TP20 靜態(tai)溫度補償系統(tong)
分辨率:0.1μm
示值誤差(cha)(μm):1.5+L/350
探測誤差(μm):1.8
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