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特點
1.MGH系(xi)列(lie)測量(liang)機采用封(feng)閉框(kuang)架(jia)結構(gou)設計，是高精度精密型(xing)測量(liang)機的(de)(de)專用結構(gou)。由(you)固(gu)定橋和工作臺(tai)移(yi)動組成，其牢固(gu)的(de)(de)機械結構(gou)確(que)保了(le)系(xi)統(tong)具備較(jiao)大的(de)(de)剛性(xing)、的(de)(de)穩(wen)定性(xing)和較(jiao)小的(de)(de)振動，保證(zheng)了(le)整個(ge)測量(liang)空間較(jiao)高的(de)(de)測量(liang)精度。
2.軸運動采(cai)用中央驅動，避免(mian)了Y向運動中(zhong)的偏擺，提(ti)高了Y軸的運(yun)動(dong)精度 Y軸導軌采用燕尾槽定位方式(shi)，以保證運動時的較大剛(gang)性及精度。 三軸(zhou)導軌均采(cai)用優質花崗巖，使三軸(zhou)具有相同的(de)溫度特性(xing)，因(yin)而(er)具有良(liang)好的(de)溫度穩(wen)定性(xing)、抗實(shi)效變形能力，鋼(gang)性(xing)好、動(dong)態幾何誤差變形較(jiao)小(xiao)。
3.三(san)軸(zhou)導軌均采用自潔式(shi)預載荷高精度(du)空(kong)氣軸(zhou)承，運(yun)動(dong)(dong)(dong)更(geng)平(ping)穩。光(guang)柵的(de)布置接近被測工(gong)件，遵循了(le)阿(a)貝誤差(cha)原理，減小(xiao)了(le)系統誤差(cha)。驅動(dong)(dong)(dong)系統采用進口高性(xing)能直流伺(si)服電機、進口摩(mo)擦桿傳(chuan)動(dong)(dong)(dong)裝置，確保(bao)傳(chuan)動(dong)(dong)(dong)更(geng)快捷、更(geng)精準、運(yun)動(dong)(dong)(dong)性(xing)能更(geng)佳(jia)。 Z軸(zhou)采用氣缸平衡(heng)裝置，極大的提(ti)高(gao)了Z軸的定位精度(du)及穩(wen)定性。
性能(neng)參數
測量范圍(mm)X:500
測(ce)量范圍(mm)Y:600
測(ce)量范圍(mm)Z:400
探測(ce)系統:PH10T+TP20 靜態溫度補償系統
分辨率:0.1μm
示值誤(wu)差(μm):1.5+L/350
探測誤差(μm):1.8
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